Deposition of microcrystalline silicon-carbon films by PECVD / Ambrosone, G; Coscia, U; Lettieri, S; Maddalena, P; Minarini, C; Ferrero, Sergio; Patelli, A; Rigato, V.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 451-452:(2004), pp. 1081-1084.

Deposition of microcrystalline silicon-carbon films by PECVD

FERRERO, SERGIO;
2004

2004
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