Structural and optical investigation of plasma deposited silicon carbon alloys: Insights on Si-C bond configuration using spectroscopic ellipsometry

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Tipo di pubblicazione: Articolo su rivista
Tipologia MIUR: Contributo su Rivista > Articolo in rivista
Titolo: Structural and optical investigation of plasma deposited silicon carbon alloys: Insights on Si-C bond configuration using spectroscopic ellipsometry
Autori: M. Losurdo; M. Giangregorio; P. Capezzuto; G. Bruno; Giorgis F.
Autori di ateneo:
Titolo del periodico: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Tipo di referee: Tipo non specificato
Volume: 96
Intervallo pagine: 3987-
ISSN: 0021-8979
Data: 2005
Status: Pubblicato
Lingua della pubblicazione:
Parole chiave:
Dipartimenti (originale): DIFIS - Fisica
Dipartimenti: DISAT - Dipartimento Scienza Applicata e Tecnologia
URL correlate:
    Area disciplinare: Area 02 - Scienze fisiche > FISICA DELLA MATERIA
    Data di deposito: 05 Ott 2006 13:55
    Data ultima modifica (IRIS): 15 Ott 2013 11:45:55
    Data inserimento (PORTO): 22 Ott 2014 18:07
    Permalink: http://porto.polito.it/id/eprint/1401107
    Link resolver URL: Link resolver link
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