SILICON-CARBON FILMS DEPOSITED BY PECVD FROM SILANE+ACETYLENE AND SILANE+ACETYLENE+HYDROGEN GAS MIXTURES / F., Giorgis; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; P., Rava. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 6:(1997), pp. 1606-1606.

SILICON-CARBON FILMS DEPOSITED BY PECVD FROM SILANE+ACETYLENE AND SILANE+ACETYLENE+HYDROGEN GAS MIXTURES

PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1997

1997
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