Archivio Istituzionale della RicercaDesign of Test Structures for Reduced order modeling of the squeeze film damping in mems / Soma', Aurelio; Ballestra, Alberto. - 2:(2006), pp. 341-345. (Intervento presentato al convegno 29th International Semiconductor Conference 2006 tenutosi a Sinaia- Romania nel 27-29 September 2006).
Design of Test Structures for Reduced order modeling of the squeeze film damping in mems
SOMA', AURELIO;BALLESTRA, Alberto
2006
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https://hdl.handle.net/11583/1447796
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