Microcrystalline silicon–carbon films deposited by silane–methane mixture highly diluted in hydrogen / U., Coscia; G., Ambrosone; S., Lettieri; Maddalena, ; Ferrero, Sergio. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 511-512:(2006), pp. 399-403.

Microcrystalline silicon–carbon films deposited by silane–methane mixture highly diluted in hydrogen

FERRERO, SERGIO
2006

2006
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