In situ etch treatment of bulk surface for epitaxial layer growth optimization / Pirri, Candido; Ferrero, Sergio; Scaltrito, Luciano; Perrone, Denis; S., DE ANGELIS; M., Mauceri; S., Leone; G., Pistone; G., Abbondanza; D., Crippa. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 83:(2006), pp. 82-85.

In situ etch treatment of bulk surface for epitaxial layer growth optimization

PIRRI, Candido;FERRERO, SERGIO;SCALTRITO, LUCIANO;PERRONE, DENIS;
2006

2006
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