Physical properties of undoped and doped μc-SiC:H deposited by PECVD / F., Demichelis; Pirri, Candido; E., Tresso; G., Dellamea; V. RIGATO AND P., Rava. - 219:(1991), pp. 413-415. (Intervento presentato al convegno MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS).

Physical properties of undoped and doped μc-SiC:H deposited by PECVD

PIRRI, Candido;
1991

1991
02729172
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