Differences in physical properties of hydrogenated and fluorinated amorphous silicon carbide prepared by reactive sputtering / F., Demichelis; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; T., Stapinski. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 71:(1992), pp. 5641-5645.

Differences in physical properties of hydrogenated and fluorinated amorphous silicon carbide prepared by reactive sputtering

PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1992

1992
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