Boron and phosphorus ion implantation in a-SiC:H thin films / R., Galloni; R., Rizzoli; C., Summonte; F., Demichelis; Pirri, Candido; E., Tresso; G., Crovini. - 336:(1994), pp. 571-573. (Intervento presentato al convegno MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIA PROCEEDINGS).

Boron and phosphorus ion implantation in a-SiC:H thin films

PIRRI, Candido;
1994

1994
02729172
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