Study of amorphous and microcrystalline hydrogenated silicon carbon alloys deposited by PECVD / F., Demichelis; G., Crovini; Pirri, Candido; E., Tresso; P., Rava. - In: VUOTO. - ISSN 0391-3155. - 13:(1994), pp. 91-94.
Study of amorphous and microcrystalline hydrogenated silicon carbon alloys deposited by PECVD
PIRRI, Candido;
1994
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https://hdl.handle.net/11583/1661214
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