Semic. and Thin Films, Ann. Chim. Fr. 19, 441 (1994)

Effect of pressure and hydrogen dilution on a-SiC:H films / M., Fathallah; R., Gharbi; F., Demichelis; Pirri, Candido; E., Tresso; G., Crovini. - 19:(1994), pp. 441-445.

Effect of pressure and hydrogen dilution on a-SiC:H films

PIRRI, Candido;
1994

Abstract

Semic. and Thin Films, Ann. Chim. Fr. 19, 441 (1994)
1994
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