Experimental-numerical comparison of the cantilever MEMS frequency shift in presence of a residual stress gradient / Soma', Aurelio; Ballestra, Alberto; Pavanello, R.. - In: SENSORS. - ISSN 1424-8220. - 8:(2008), pp. 767-783. [10.3390/s8020767]

Experimental-numerical comparison of the cantilever MEMS frequency shift in presence of a residual stress gradient

SOMA', AURELIO;BALLESTRA, Alberto;
2008

2008
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