Silicon-carbon films deposited at low substrate temperature / Ambrosone, G; Coscia, U; Lettieri, S; Maddalena, P; DELLA NOCE, M; Ferrero, Sergio; Restello, S; Rigato, V; Tucci, M.. - In: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS. - ISSN 0022-3093. - 352:(2006), pp. 1371-1375.

Silicon-carbon films deposited at low substrate temperature

FERRERO, SERGIO;
2006

2006
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