Design and Finite Element Simulation of MEMS for Fatigue Test / DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - 1:(2007), pp. 159-162. [10.1109/SMICND.2007.4519671]

Design and Finite Element Simulation of MEMS for Fatigue Test

DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2007

2007
9781424408474
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