RF-MEMS beam components: FEM modeling and experimental identification of pull-in in presence of residual stress / Ballestra, A; Brusa, Eugenio; DE PASQUALE, Giorgio; Munteanu, M. G.; Soma', Aurelio. - (2008), pp. 232-235. (Intervento presentato al convegno Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP 2008) tenutosi a Nice, France nel April 2008).
RF-MEMS beam components: FEM modeling and experimental identification of pull-in in presence of residual stress
BRUSA, Eugenio;DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2008
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https://hdl.handle.net/11583/1847847
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