Experimental validation of compact damping models of perforated MEMS devices / Veijola, T; DE PASQUALE, Giorgio; Soma', Aurelio. - In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES. - ISSN 0946-7076. - 15:(2009), pp. 1121-1128. [10.1007/s00542-009-0793-6]

Experimental validation of compact damping models of perforated MEMS devices

DE PASQUALE, GIORGIO;SOMA', AURELIO
2009

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/1953971
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