Optimization of thermal assisted direct bonding of soda-lime glasses for lab-on chipapplication / Chen, Qiuping; Chen, Qiuling; Ferraris, Monica. - In: MICROSYSTEM TECHNOLOGIES. - ISSN 0946-7076. - STAMPA. - 16:(2010), pp. 527-532. [10.1007/s00542-010-1025-9]

Optimization of thermal assisted direct bonding of soda-lime glasses for lab-on chipapplication

CHEN, QIUPING;CHEN, QIULING;FERRARIS, Monica
2010

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/2364660
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