Archivio Istituzionale della RicercaNanostructured silicon carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapour deposition technique / U., Coscia; G., Ambrosone; D. K., Basa; V., Rigato; Ferrero, Sergio; Virga, Alessandro. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 543:(2013), pp. 27-31. [10.1016/j.tsf.2013.03.073]
Nanostructured silicon carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapour deposition technique
FERRERO, SERGIO;VIRGA, ALESSANDRO
2013
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https://hdl.handle.net/11583/2513798
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