Optoelectronic and structural properties of amorphous silicon-carbon alloys deposited by low-power electron-cyclotron resonance plasma-enhanced chemical-vapor deposition / J. P., Conde; V., Chu; M. F., DA SILVA; A., Kling; Z., Dai; J. C., Soares; S., Arekat; A., Fedorov; M. N., BERBERAN SANTOS; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 85:(1999), p. 3327.

Optoelectronic and structural properties of amorphous silicon-carbon alloys deposited by low-power electron-cyclotron resonance plasma-enhanced chemical-vapor deposition

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido
1999

1999
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