Archivio Istituzionale della RicercaMicrostructures under electrostatic loads: FEM analysis of the geometrically non linear problem / Gugliotta, Antonio; Soma', Aurelio; DE BONA, F; Collenz, A.. - (2002). (Intervento presentato al convegno SPIE proceedings of design packaging of MEMS nel maggio 2002).
Microstructures under electrostatic loads: FEM analysis of the geometrically non linear problem
GUGLIOTTA, Antonio;SOMA', AURELIO;
2002
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https://hdl.handle.net/11583/1412213
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