Microstructure and physical properties of BxNy(OzHk) coatings deposited by r.f. magnetron sputtering / V., Rigato; M., Spolaore; Giorgis, Fabrizio; L. E., Depero; L., Sangaletti; P., Colombo. - In: SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY. - ISSN 0257-8972. - 97:(1997), p. 582.

Microstructure and physical properties of BxNy(OzHk) coatings deposited by r.f. magnetron sputtering

GIORGIS, FABRIZIO;
1997

1997
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