Archivio Istituzionale della RicercaStructural and electrical investigation of high temperature annealed As-implanted Si crystal / Bocchi, C; Felisari, L; Catellani, A; Cicero, Giancarlo; GERMINI F., GOMBIA E; MOSCA R., NASI L; MUKHAMMEDZANOV E., Kh; Chuev, M. A.; Camalleri, M. AND CALÌ D.. - In: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY. B. - ISSN 1071-1023. - 23:(2005), p. 1504.
Structural and electrical investigation of high temperature annealed As-implanted Si crystal
CICERO, Giancarlo;
2005
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https://hdl.handle.net/11583/1905839
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